微电子技术是随着集成电路，尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术，其包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术，微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和。在应用方面，大致可分为光电显示、半导体芯片、汽车电子、LED电子、通信电子等几大类，目前都已经广泛应用在工业生产和日常生活中。

微电子工业发展的迅速发展，作为行业参与者则需要注重微电子无尘车间的设计与利用，使得相关技术完善，确保微电子工业生产计划的顺利实施。

微电子工业无尘车间设计和建设是保障微电子工业生产重要的措施，无尘车间提供微电子工业生产所需要的洁净环境，它们由多个部分组成，比如空气净化系统、高纯气体供应系统等。实践中的微电子工业无尘车间组成示意图如图 1 所示。

微电子工业无尘车间设计注意点

（1）根据不同行业，结合实际情况，对空气洁净等级、高纯物质等进行充分考虑，满足相应的技术要求；

（2）保证实际应用中的洁净度，在日常使用中不引入或尽可能少引入污染物，并注重不同专业之间的配合操作；

（3）微电子工业无尘车间设计应达到安全生产及环保要求，且其生产中污染物的排放应达到行业标准要求；

（4）微电子行业技术日新月异，为了更好地适应时代的发展要求，微电子工业无尘车间设计中应考虑灵活性要求，满足日后的改建和升级；

（5）需要注重其位置选择、总平面布置及平面布置，满足生产工艺要求，提升无尘车间设计水平。

微电子工业无尘车间设计具体实施

1 无尘车间暖通空调的设计分析

微电子工业无尘车间科学设计涉及到众多专业，需要考虑气体动力专业、弱电专业、建筑专业等不同专业的配合，从多方面整体考虑，才能保持无尘车间良好的设计效果。建议从以下方面入手：注重生产区净化空调系统与动力支持区降温空调系统设计。在对净化空调系统进行设计时，设计人员应强化自身的责任意识，且在行业技术规范的要求下，落实好相应的设计工作。在该系统设计工作中，需要做到：

（1）根据洁净室的实际情况，借助计算机系统的应用优势，在计算机三维空间中对洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级进行充分考虑，确定不同空气洁净度等级下的粒径及最大浓度极限；

（2）为了提升净化空调系统实践应用水平，需要设计人员在其设计中控制好该系统所在区域的温度、湿度、所在区域的洁净度、压力等参数；

（3）结合生产区净化空调系统的功能特性，需要设置好高级别的洁净室，并注重化学过滤器的配合使用，实现新风高效处理的同时提高分子污染物处理效率；

（4）选用性能可靠的空气处理设备、风管材质等，并加强它们的安装过程控制，确保生产区净化空调系统的稳定运行；

（5）重视净化空调系统技术的高效利用，且在集中送风及风机过滤单元送风方式的配合作用下，提高净化空调系统运行效率。

在微电子工业无尘车间暖通空调设计过程中，也需要对与之相关的综合动力站降温空调系统、 生产区生产废气通风系统、生产区事故排风系统、消防排烟系统等系统进行设计分析。在此期间，应根据微电子工业生产的实际要求及无尘车间暖通空调的功能特性，选择性能可靠的设备，且在不同专业的共同支持下，完善相应的系统设计方案，促使无尘车间暖通空调设计更具合理性，从而满足无尘车间的设计要求。

2 无尘车间的给排水设计分析

在微电子工业无尘车间给排水设计过程中，需要注重其中的生活给排水系统、生产给排水系统、消防给水系统及工艺冷却水系统设计，以便增强无尘车间在微电子工业生产中的实践应用效果。具体表现在以下方面：

（1） 实践中的生活给排水系统与生产给排水系统设计。在生活给排水系统设计过程中， 设计人员应注重水源资料收集，对不同的水质进行深入分析，并结合不同季节水温变化情况， 构建出功能强大的基于半导体项目的超纯水系统，从而提升微电子工业无尘车间给水系统的实践应用水平。同时，应结合建筑领域给排水的设计规范要求， 选择性能可靠的排水设备及材料，构建出环境适用性良好的排水系统，从而为无尘车间生活给排水系统的正常运行提供保障；在生产给排水系统设计过程中，应结合微电子工业无尘车间的实际情况，将该系统的设计工作落到实处，选用质量可靠的给排水设备并加以使用。

（2）实践中的消防给水系统及工艺冷却水系统设计。

在微电子工业无尘车间消防给水系统设计中， 需要设置功能特性良好的自动喷洒灭火系统、 水喷雾灭火系统、泡沫—自动喷水联用灭火系统及气体灭火系统，并根据不同系统的应用优势，设置于无尘车间的指定区域；在工艺冷却水系统设计过程中，需要加强环境适应性良好的工艺设备使用。

3 无尘车间的气体动力设计分析

（1）功能强大的洁净压缩空气系统设计。在该系统设计过程中， 设计人员应了解气体动力专业内容，像真空、冷冻等系统的功能特性，并设置好室内外气体管道，落实好相应的设计工作，使得洁净压缩空气系统实践应用中能够达到预期效果。在此期间，应配置好系统所需的过滤器、储气罐、空压机、干燥器等，优化该系统生产应用中的服务功能。

（2）加强无尘车间气体动力工程设计。在这类工程设计过程中，需要注重综合动力站、 换热站等设施的配合使用，并根据空调负荷变化情况，选用运行效率高的机组，且在暖通专业、 气体动力专业等不同专业的支持下，开展其所需的设计工作，实现这类工程的科学设计。

综上所述，在微电子工业无尘车间设计中，若能落实好这些方面的设计工作，则有利于增强其无尘车间实践应用效果，确保微电子工业生产状况良好性。因此，未来微电子工业发展中需要结合形势变化及自身的生产需求，给予无尘车间设计更多的重视，并将相应的设计工作落到实处，从而为我国微电子工业发展注入活力。