随着半导体集成电路技术的飞速发展， 对于生产过程的洁净度等级要求也随之不断提高。 洁净度的控制成为了一项专业而又关键性的工程。分析净化间控制系统中可能接触到的主要污染及造成污染的主要原因， 并在实际管理过程中去控制和解决这些问题。

近几十年来， 半导体集成电路行业得到了迅猛发展， 电子产品对生产环境的要求越来越高。 尤其是对洁净度的要求十分严格。如何有效控制生产环境的洁净度也成为了提高产品质量和成品率的关键。

1 人员的管理

人是净化间内主要尘源之一。 尤其是工作人员在洁净环境中的活动， 会明显地增加洁净环境的污染程度。因此，要获得生产环境所需要的空气洁净度等级，对净化间的人员活动进行控制，是有效的途径和措施。

要把净化间各项规章制度真正落到实处，最关键就是人员的日常管理，把人员净化管理作为首要控制要素，所以应该针对净化间进出人员进行各项培训。

（1） 对新入职人员进行净化间洁净知识培训。

（2） 对操作人员在净化间操作设备，搬运物料的专项培训。

（3） 对所有进出净化间的人员进行衣着穿戴， 进出制度的培训。

（4） 对所有人员在净化间的日 常行为规范的培训。

每项培训后，都要组织进行培训效果的评估和考核，使人员在意识上认知：人员是净化间内重要污染源，使大家在行动上能恪守相关的行为准则， 比如：

a.所有人员必须建立一个净化间的概念，必须清楚地了解所有不规范的行为均有可能产生出废品，并列举出正确的净化间行为规范及不规范的行为的种类。

b.进入净化间时，必须按正确流程穿戴净化服、口罩、手套、净化鞋。更换衣服时，必须防止干净的净化服拖到地面，或者和人员日常的非净化服装混放，造成净化服表面被沾污。

c.在净化间中，人员的说话、咳嗽、打喷嚏等都会使唾液从口罩与皮肤的缝隙处喷出而污染产品；在咳嗽或打喷嚏时，必须将头从产品处移开，打喷嚏后一般都要更换口罩；口罩一定要罩在鼻子上而不得戴在鼻下。

2 净化服、更衣室的管理

更换净化服的最好方法就是要保证净化服外表尽可能少受到污染， 更衣室一般分成三个区： 预更区、更衣区、净化间入口区。

一个干净整洁的更衣室，能够很有效地保证净化间的洁净度，因此加强更衣室的管理非常有必要：

首先，更衣室内必须干净整洁且有良好的通风，不能有任何异味。异味主要来自人员不干净的衣服、鞋袜，其中包含大量的酸性气体，混入净化间的话，会对产品表面产生腐蚀，影响产品的质量。因此， 除了正常的净化服清洗外，还必须要求人员注意个人卫生，保持衣服、 鞋袜的干净。

其次，对于净化服：在一般生产区、控制区和洁净区的工作服在样式、颜色方面应有明显区分，不得混穿；

同时配以采用不同频率的清洗周期，以保证净化服洁净度的充分有效。

再次，净化服管理的最重要的一个环节就是清洗， 尽管纤维本身是不易污染的洁净纤维， 但如何保持是一个重要因素，那就是用清洗的方法。净化服从管理方面考虑，在清洗的时候也必须在净化间中进行清洗及包装。

每位人员配备专用的衣柜，只用于存放非净化服，并且要求人员脱掉非洁净衣服时，不能把非洁净衣服放在其他地方，必须直接放入衣柜中。在生产过程中，如果净化服表面一旦有肉眼可见的污染物，必须及时更换并放入清洗区域中。

人员在进入更衣室前、中、后，必须严格遵守净化间的日常管理制度。比如：

（1） 必须先把原鞋子脱下放入鞋柜。 绝对禁止穿鞋直接进入更衣室。

（2） 穿净化服时，需先戴口罩，再穿净化服，再穿洁净鞋，再穿手套。

（3） 人员出净化间后，需按照穿净化服相反的顺序脱掉净化服。脱下的手套、口罩均一次性使用，应立即丢入垃圾桶内，严谨乱扔。

另外，更衣室执行每日常规清洁，每周彻底清洁一次，清洁时间为取走室内需清洁的净化服后进行。清洁内容包括更衣室的地面、墙面、衣柜表面，各个角落等。

3 风淋室的进出管理

风淋室是人员进出净化间所必须的通道， 同时起到气闸室密闭净化间的作用， 为了减少由于人员进出所带来的大量尘埃粒子，经高效过滤器过滤后的洁净气流由可旋转喷嘴从各个方向喷射至人身上，有效而迅速清除尘埃粒子，清除后的尘埃粒子再由过滤器重新循环到风淋区域内。 所以对于人员进出风淋室的管理十分重要。人员更换好净化服后，必须通过风淋室进入净化间。通过时，人员数量不能超出风淋室的额定数量。

人员进入风淋室后，需站立在指定的位置，平抬双手并转动身体。抬起双手时，不得碰到风淋室的任何表面，更不得私自调整风淋室喷嘴的吹淋角度。

风淋室为自动吹林并联锁，人员进入风淋室后，必须在吹淋结束后才可打开出口门，不得强行打开出口门，当风淋室内有人员在吹淋时，需要进入的人员必须等到里面的人员离开风淋室并关上出口门后方可进入。

4　物料运输的日常管理

为了避免在发料、配料过程中造成污染，所有物料进入净化间时，必须通过货物通道进入。 物料进入净化间前，货物的外包装均需去除，在制定位置对物料进行清洁后，然后堆放在净化间的专用托盘上，方可通过货物通道进入净化间内。 另外在物料搬运时，人员避免依靠身体来搬运物料。

在净化间中，我们需要优化工艺路线，尽量减少物料的搬运和移动，这也是减少污染的一个重要手段。

5　吊顶空间的管理

吊顶空间内要禁止非专业人员进入，吊顶空间配备专业的人员进行定期的巡视，以消除任何潜在的污染，主要措施由以下几项：

（1）定期检查吊顶空间的所有设备的外表面应清洁干净、无油污、无浮尘、风管无破损现象；空调系统无渗漏，无滴水现象。

（2）定期检查吊顶空间内的风管所用螺栓、螺母、垫圈和铆钉无腐蚀、氧化现象；镀锌钢板不得有镀锌层严重损坏的现象，如表层大面积花白、镀层粉化等。

（3）输送可燃流体、有毒流体管道及其阀门，输送高纯气体、高纯水管道的阀门均不得有渗漏。

6　新风系统的日常管理

在厂房设计之初，净化空调系统新风的室外吸入口位置，应远离本建筑或其它建筑物排放有害物质或可燃物的排气口。在我们的日常管理过程中，为了避免由于新风系统的问题引起的净化间颗粒增加，必须在日 常工作中严格执行以下程序：

（1） 新风量的监测，保证进入空调系统的新风量符合实际的要求.

（2） 按照规定定期清洗或更换系统中的初、中效过滤器。

（3） 定期巡视新风系统管道有无泄漏。

（4） 定期检查，清洁行风系统管道， 避免微生物的滋生。

7　FFU运行的日常管理

FFU是整个净化间中保证净化间洁净度的关键部件，FFU的状态是否良好决定着净化间洁净度是否达标的关键因素。为了保证净化间的洁净度符合生产要求，我们着重从以下几个方面来监测 FFU的运行状态：

（1）定期地、分区域地测试FFU的风速，确认FFU的运行风速是否处于0.35m/s± 20%的状态。

（2）定期地、分区域地逐台扫描FFU的高效过滤器，确认高效过滤器是否正常工作，避免高效过滤器的泄漏导致净化间内的洁净度超标。

（3）预防性的抽查FFU高效过滤器的阻力，在FFU高效过滤器达到终阻力之前，分区域， 提前安排高效过滤器的更换；

（4） 定期测试净化间内各区域的洁净度，如果在某区域监测到粒子超标现象，我们立即启动应急响应，对此区域的所有FFU高效过滤器进行逐台扫描，查找泄漏点，并总结引起泄漏的原因，采取相应的纠正预防措施。

总之，净化间洁净度的控制是一项非常专业而又复杂的综合性工程，只有不断提高人员的素质，增强人员的自觉性和工作责任心，加强对净化间的日常管理，这对洁净度的控制起到至关重要的作用，从而不仅可以大幅度地降低净化间的运行成本，同时又可以提高产品的质量和成品率。