1、TFT-LCD 洁净间厂房的特点

TFT-LCD 生产工艺要求情况决定了TFT-LCD 洁净间厂房的特点，目前洁净厂房主要是半导体厂、TFT-LCD 厂、医药行业洁净室及汽车喷漆等。

TFT-LCD 厂洁净间厂房相对其他行业的洁净间厂房有自己的特点，除了洁净度、 温湿度， 正压要求外，TFT-LCD 行业电子洁净厂房面积比较大，随着各种高世代线的投入，洁净厂房的面积也越来越大，对温湿度，洁净度控制要求也越来越高。总的来说，电子工厂生产工艺对环境的要求可用大、净、精来形容。

2、TFT-LCD 洁净厂房结构

为了降低洁净室的建造初投资和运行能耗，电子工厂的高级别洁净室一般把 ISO1 级～ISO5 级这样高净化级别的垂直单向流用在工艺生产最重要、 最关键的部位，用大面积的非单向流（ ISO6 级～ISO8 级）替代大面积的单向流，也就是把垂直单向流与非单向流组合在一个洁净室内，构成混合流洁净室。混合流洁净室的净化空调系统一般采用新风机组（ MAU ）加风机过滤器机组（FFU）加干表冷盘管（DCC） 送风方案。采用 3 层结构，中间部分是工艺生产部分，上部是FFU区域，下部分是管道布置及动力设备区域，两侧是空调机房，采用 MAU+DCC+FFU 运行方式。

3、新风机组 MAU 控制方式简介

洁洁净间的工艺环境要求主要是洁净度、温湿度、正压，洁净度根据工艺要求主要要求是100 级及1000 级，主要是新风机组过滤器及FFU来实现、温湿度控制由新风机组及DCC（表冷盘管）控制，正压新风机组送风量来实现。

某光电公司洁净厂房采用 MAU 机组送风控制方案，总计34台MAU机组，总风量最大能达到240万M3/H，新风量消耗巨大。