随着我国科技水平的不断提高，半导体行业的产品制造及加工内容开始朝着微型化、精密化方向转变，对生产环境的要求也随之提高，常规生产环境已无法满足当前产品制造与加工需求，因此，净化车间工程受到了相关行业的广泛关注。半导体净化车间内的洁净度、振动、温湿度等均是判断净化车间是否符合产品制造与加工环境要求的指标，净化车间工程的最终目标就是将相关指标控制在特定范围内。暖通空调安装是净化车间工程中决定上述指标能否符合要求的重要环节，其施工流程复杂，不确定性较强，易出现质量问题，从而导致净化车间出现洁净度下降、温湿度偏差问题，致使净化车间不符合生产要求，因此在施工过程中采取必要的质量控制措施具有重要意义。本文将从净化车间与暖通空调的概念、暖通空调安装施工过程中存在的问题、施工质量控制对策等方面进行分析，以期为相关研究提供指导。

半导体净化车间暖通空调系统

在半导体制造业中，由于各种设备敏感性强，周围环境中存在的杂质会使其特性产生改变， 甚至破坏其性能，如金属离子能破坏半导体器件的导电性能，灰尘粒子能破坏半导体器件的表面结构，因此，在制造过程中除恒温恒湿条件外，还存在一定的洁净度要求。净化车间是指将洁净度、温湿度、室内压力、气流分布、气流速度、噪声振动、静电等参数控制在特定需求范围内的密闭性较好的空间，能为我国亚微米工艺提供生产条件，使半导体制造支撑设备处于与粉尘隔绝的密闭空间中，从而保证工厂投产后能够发挥最佳生产效能。暖通空调是指具有采暖、通风、空气调节功能的空调器，其工作原理是利用制冷机中冷冻水与制冷剂的热量交换产生汽化现象，降低冷冻水温度，利用压缩机形成高压气体，经冷凝器处理变为低压低温气体，通过冷风机将其引入净化车间内 。

暖通空调作为净化车间控制系统的重要组成部分，能够通过对生产环境空气温湿度及悬浮粒子的监测与控制，确保环境参数符合生产要求，在避免空气污染的同时给工作人员提供舒适环境。

半导体净化车间暖通空调安装施工时存在的问题

1 对施工管线的标注精度不足

一般而言，暖通空调安装是在净化车间工程后期进行，在工程前期需进行空调管道与空调设备的预留工作，施工人员需详细了解并按照施工图纸进行施工，若其了解程度不够，或未按图纸施工，可导致出现空调管道安装不到位、空调设备无法安装等严重问题，同时，由于管线大多集中于净化车间的上夹层和下夹层，管线多而杂，若工程设计人员未将管线具体安装位置标注清楚，则可能导致施工后期需重新安装管道的问题，对整个净化车间工程施工进度造成极大影响 。

2 空调工作的噪声较大

空调设备在使用过程中一般会产生噪声干扰，对净化车间内生产环境造成影响，因此，在安装暖通空调前或进行调试过程中，需做好隔噪工作，若空调实际使用参数与出厂参数不符，在经过隔噪处理后仍无法解决噪声问题，则需与厂家沟通，及时更换设备， 确保暖通空调满足净化车间使用需求 。

3 安装的电路管道流通不顺畅

目前，暖通空调的安装仍存在管线布局混乱问题，不同管线之间交叉缠绕。若技术人员未做好监督工作，或施工人员缺乏责任心，易导致管道安装后不符合实际使用需求的问题，给工程带来不必要的麻烦。同时，若暖通空调排水管道清理人员工作疏忽，管道清理工作不到位，可对空调的正常运行造成影响，降低暖通空调实际使用效果。

4 空调在使用过程中出现滴水问题

暖通空调各类管道中，若冷却水管道采用塑料管，由于其强度不高在安装过程中易岀现管道变形、安装松动及其他问题，导致管道形成一定坡度，造成暖通空调在实际使用过程中出现滴水现象，影响到净化车间的各项生产环境参数。

半导体净化车间暖通空调安装施工的质量控制对策

1 加强图纸质量控制

施工图纸是整个工程施工的主要依据，同时也是施工项目规划的具体体现，需严格规范施工图纸设计与审查流程，以确保其科学性、可行性及高质量。在施工前，应由技术人员对净化车间施工区域进行实地考察，据此制订施工方案，在对施工图纸进行审查时，需由施工相关部门进行综合审查，反复推敲施工内容， 分析实际施工过程中可能出现的问题，并制定针对性的预防措施，以完善施工方案，提高施工图纸的合理性与可在施工图纸审查阶段，需重点关注内容以下内容：( 1 )在工程项目合同范围内，确保施工图纸的完整性，避免因施工图纸 缺失影响施工进度； ( 2) 提高对施工复杂部位的审查，如对设备机房，需对吊装、碰撞、 维修空间等问题的解决方案进行重点分析，必要时可借助计算机建模技术进行模拟，以确保施工的合理性与可行性；(3) 技术人员需结合各项设备的出厂参数与资料，分析设备安装过程中搬运动线、管道接口、建筑荷载等是否满足需求，若存在冲突，则需及时与设计单位进行沟通，避免施工后出现问题 。

2 对暖通空调设备加强质量控制

暖通空调设备是否符合质量要求关系到其实际使用效果，因此，应加强对暖通设备的质量控制，具体如下：( 1 ) 严格按照施工方案中的要求开展设备招标工作，确保中标厂家的设备符合使用要求； ( 2 ) 由于暖通空调的系统功能与阀门质量、管道材料、散热器等存在紧密联系，如阀门质量较差可引发滴漏问题，造成巨大经济损伤，因此，在设备选购工作中，应严守质量关；(3 ) 在安装前对水泵、冷水机、空调外机等设备材料进行严格检查，避免设备存在损伤而导致其在实际使用过程中出现质量问题 。

3 对施工中所用的材料进行质量把控

在净化车间工程施工过程中，质量监控人员需对工程中用到的各种材料进行严格的质量监控。施工材料进入施工现场前，由质量监控人员进行质 量抽查，若施工材料不符合施工标准，则严禁其进入施工现场，以避免不合格施工材料降低工程质量，同时，对当前尚未用到的合格施工材料进行储存时需掌握正确储存方法 ， 确保施工材料在使用时能够符合施工标准 。

4 做好空调设备预留孔的工作

在净化车间工程施工过程中，若设计人员未能较好地协调施工现场各项工作，或由于其操作技术与工作能力不足等原因，在施工图纸上未明确标注预留孔洞，会对整个工程的质量造成极大影响。即便设计人员已将预留孔洞标注于图纸，在施工前，施工人员仍需要反复检查，从 根本上避免孔洞遗漏或错留。 施工过程中，对预留孔洞进行必、要的检查与保护具有重要意义，可避免人或物落入孔洞，对暖通空调安装完成后的运行造成影响，且避免了净化车间工程其他项目在施工过程中占用或封堵孔洞，影响暖通空调的安装施工，同时，也避免了暖通空调安装施工前对净化车间进行现场开孔所导致的二次粉尘污染问题 。

5 加强施工过程中支架的选用

固定支架与活动支架均是管线安装施工中常用的支架形式，固定支架对承重点管线具有限制 作用，以防止其出现位，活动支架又称滑动支架，在管道发生热胀冷缩时能够在支架上沿导轨防线自由滑动。在净化车间工程施工过程中，两种支架形式常被混合使用，容易对净化车间管道收缩造成影响，导致管线无法发挥预期效果，若支架与管道结构出现损伤，则会缩短其使用寿命。因此，在施工前,需针对支架方面的知识对施工人员进行培训，使其充分了解施工方案，确保施工过程中合理选用支架。

6 加强施工人员间的协调配合

净化车间工程中暖通空调安装施工时，应注重与工程其他项目工作间的协调配合，避免不同施 工项目之间造成妨害，或相互推卸工作责任。如净化车间工程中不同工种均存在较为复杂的布管，暖通专业需安装排烟管、冷凝水管、回风管、送风管、回水管、供水管等，给排水专业 需安装喷淋管、污水管、消防水管等，当不同项目工作之间出现矛盾或问题时，应由工作人员进行积极协调,并采用BIM 技术对施工方案进行合理规划或调整 。

7 对暖通空调的冷热水管加强施工控制

空调冷热水管的施工质量对净化车间的稳定运行起着重要作用，施工人员需严格按照施工方案开展工作，对管道焊接采取全氮弧焊或氮弧焊打底电焊盖面的焊接方法，以保证管道符合设计方案中预定的使用标准，同时，在进行管道支架架设时，施工人员不能采用暴力施工方法， 预防管道支架架设不当造成供暖管坡度改变以及其他不良后果。

8 加强对工程验收和后期维护的控制

当净化车间工程施工结束后,需由专业人员对暖通设备的运行情况进行检查和验收，在此过程中，检査验收人员需以施工前制定的各项施工规定为参考依据，确保暖通空调系统各项参数达到相关使用标准，且能够正常使用，若在验收过程中发现问题或验收不达标，需及时进行整改，直至验收达标。在验收结束后，相关工作人员需备份好施工过程中用到的施工图纸与施工方案文件，以便在后期进行暖通空调系统维护时将其作为参考，从而延长净化车间暖通空调系统的使用寿命 。

随着国家经济的不断增长，半导体行业朝着器件微型化、精密化方向发展，对净化车间洁净度、温湿度及其他相关参数提出了更高要求。暖通空调作为净化车间控制系统的重要组成部分、施工中存在管线标注精度不足、空调工作噪声较大、安装电路管道流通不顺畅、空调使用过程中出现滴水等问题，因此，应加强对于图纸、暖通空调设备的质量控制工作，并对施工中所用材料进行质量把控，做好空调设备预留孔工作，还应加强施工过程中支架的选用、施工人员间的协调配合、暖通空调供暖管的施工控制、工程验收和后期维护的控制等工作，以提高净化车间暖通空调施工质量，为我国经济建设提供一定的技术保障。