1. 概述

洁净室对温度、湿度以及洁净度均有比较严格的要求，而洁净度的保证是通过增大换气次数来完成的，洁净级别越高，其换气次数越大，如10万级要求换气次数不小于15次／ｈ，而100级则达360多次。

2. 百级洁净室通风设备的选择

百级洁净室通常采用区域内风机自循环的形式来满足换气次数的要求,其做法是在百级区吊顶内设置若干台风机,百级区的大部分回风由这些风机通过回风口吸入，送进吊顶高效过滤器的静压箱内。另外，百级区所需要的补充冷(热)风则由组合式空气处理机经低速风管也送进静压箱内，冷(热)风与回风混合并经高效过滤器过滤后以层流的流形返回百级区内。

按照厂家提供的资料，在额定风量下，高效过滤器的初阻力通常为180Pa，终阻力为初阻力的2倍，即为360Pa。所以，在选择循环风机的时候，常常把风机的全压选在400Pa以上，其噪声值通常在65dB(A)以上，如果是若干台风机并联运行,根据总声功率级的计算公式:

Lwz=Lwg+Δβ。

其中，Lwz为多台通风机同时工作时的总声功率级，dB;Lwg为声功率较高的一台通风机的声功率级，dB;B为附加的声功率级。百级区吊顶内的风机噪声将达到70dB(A)左右，虽然吊顶静压箱及高效过滤器均有一定的降噪作用，但百级工作区仍然处于噪声允许的最高值。

在工程设计过程中，常常容易忽略一个问题，就是通过每块高效过滤器的风量实际上是没有达到额定风量的。以一个10㎡的百级洁净区为例，按截面风速0.3m/s计算，所需的循环风量为10800m3h，因为百级洁净区要求满布高效过滤器，假设选用规格为630x630的高效过滤器，则需要的数量为 25 块。该高效过滤器的额定风量为1000m3/h时，其初阻力为186Pa，终阻力为372Pa，而实际上通过每块高效过滤器的风量为432m3/h。根据风量与流速的关系，在截面面积一定的前提下，实际流经高效过滤器的风速为额定风量下风速的0.432倍。根据局部压力损失计算公式:Z=â²p/2。

其中，Z为局部阻力损失，Pa;ξ为局部阻力系数;为空气流速，m/s;p为空气密度，kg/m3。

高效过滤器的实际压力损失为额定压力损失的0.432²倍，即初阻力为34.7Pa，终阻力为69.4 Pa。所以，在选择循环风机时，在满足了风量要求的前提下，风机全压可大幅度减少，自然风机噪声及耗电量也就降低了。

3 工程实例

3.1 工程概况

山西省某微电子生产车间，厂房面积共3600㎡，其中，千级洁净区806㎡，万级洁净区138㎡，普通空调区2480㎡。另外，在千级洁净区的环境中，还有5个百级洁净区。甲方要求洁净区夏季室内工况为tn=24℃~26℃，4n=40%~60%，噪声小于65dB(A);冬季工况为t=20℃~22℃，n<60%，噪声小于65dB(A);普通区夏季工况为tn=26℃~28℃，pn<60%，噪声小于65 dB(A);冬季工况为tn=18℃~20℃，n<60%，噪声小于65 dB(A)。

3.2 计算结果及通风设备选择

经对围护结构、设备散热、照明散热、人体散热及新风负荷的综合计算得出:厂房空调总冷负荷为645 kW，总热负荷为410kW;千级、万级洁净区的总循环风量为120000m3/h，其中新风量为20000m3/h、设备排气量为8000m3/h;普通空调区风量计算从略。空调冷源由两台螺杆式冷水机组提供，热源由厂区锅炉房提供;千级、万级洁净区的空调末端设备为一台空气处理量为120000m3/h全压为1600Pa的组合式空气处理机组，组合段包括混合、初效过滤、表冷、加热、除湿、检修、中效过滤、送风机、均流、消声及送风段;5个百级区选用风量为1800m3/h、全压为180Pa、噪声为54dB(A)的低压离心式通风机61台，风机在每个百级区吊顶内分两组均匀布置。

3.3 处理及气流组织

空调气流组织为上送风、下回风(回风夹墙)，有异味及热湿气溢出的设备设局部排风罩排风;为保证车间内人员必需的新鲜空气，各空调系统均设排风机排风，并补人室外新鲜空气，排风采用玻璃钢离心风机，洁净室与室外压差大于10Pa，不同空气洁净度的洁净区之间及洁净区与非洁净区之间的压差大于5 Pa，设有排风的房间相对于其他洁净室负压，各洁净室均装空气压差显示表。千级、万级洁净区吊顶上均布高效过滤器送风口，气流流形为乱流;百级洁净区吊顶上满布高效过滤器送风口，气流流形为层流。洁净空调系统经初效、中效、高效空气过滤器过滤后送人房间。千级、万级空调净化系统方案流程图见图1。百级空调净化系统方案流程图见图２。