在半导体车间的施工过程中，工程质量一定是最关键的，围绕工程质量需要做很多准备以及当中所需要控制的环节，对技术的要求度生产的要求随着整个社会的发展都在要求提高；不仅仅是从大方向上来判断一个东西的好坏，需要从细节抓起，细节决定成败的真理对任何行业都是适用的；因此，在半导体车间施工中，需要注意的。例如在车间地坪上是否耐腐蚀，地坪是否洁净以及耐磨等都是需要注意的装修细节；在此项目中，项目特点之一就是高温季节施工室内白天41度，室外阳光下45度，必要时采取规避及降温措施：以此为例，来研究半导体车间的施工情况，对其洁净度的处理方式等，包括对其室内空气的含尘量的控制，以确保其质量符合使用规范。

1、项目概况

亚德诺半导体项目位于上海市浦东新区祖冲之路上的上海展想广场，其总项目的建筑面积为5500平方米，其中，净面积为4800平方米；其具体在项目上的特点主要分布在材料选择上，实验室区域内的安全设施，实验室的用点要求，以及在高温季节上所采取的避温措施等一系列的项目特色。

2、对地面装修的要求

2.1 规范要求

根据半导体在有关方面的装修规范所规定，在地面装修上，应秉承其总体性能上的良好，铺平铺整，无裂缝，坚硬耐廉且耐撞击以及防止其潮湿，不容易聚集静电，在清洗上，要易于清洁除尘等。在甲乙类厂房的对于地面装修材料在燃烧性能上规定为A级，也就是不能燃烧，丙类厂房的地面装修材料规定为B1级，也就是可燃烧，但比较难燃烧；综上所述，在实际操作中，需要在满足规定要求的范围内，现实中常用自流平地面为主，还有不发火水磨石房静电的地面等作为地面材料的主打。在本项目中，项目特点之一就是对地面材料的要求，规定试验区域的地面要防静电，接地电阻要高。

2.2自流平地面的概念、性能以及使用范围的探讨自流平地面的组成是以环树脂为主要的成膜物，在通过加人各种辅料以及颜料、填料等合成加工而制作的，主要特点是无溶剂、自流平粒子致密的厚浆型环氧地坪的涂料。

其在性能上主要表现为在材料上的选择，其选用无溶剂环氧树脂为原料，辅料加上优质的固化剂加上到淀粉制作而成，还有一个特点就是表面不论是视觉还是触觉都是很平滑整齐，增加了其美观度，可满足洁净度等级的规范要求。在对抗耐酸碱盐油类等方面的腐蚀具有特别好的性能，耐磨、耐压、耐撞击也是特色之一，还有防潮、抗菌的优势，整体性能表现非常好，在施工工艺上的操作也是很简单，且难燃烧，避免了安全上的隐患。

自流平地面对使用的范围要求很多，需要求环境绝对清洁，无灰尘，无细菌以及防静电的电子，微电子等行业，还要保证其美观度。

2.3对防静电聚氯乙烯PCV地面概念、性能以及使用范围的探讨

聚氯乙烯树脂是作为PVC防静电地板的主要材料，辅料主要所需导电材料，稳定剂以及增塑剂和色料等，再利用到塑料粒子界面形成的经典网路，最后就是将以上过程进行特殊的工艺加工而制作成的。

对于其在材料上的性能表现，为了让其具有永久的导电性，需让道题材料平摊与整块地板上；性能优势显而易见在于其机械性强度高，地砖受重力强，且表面平滑，对于一些化学物品的腐蚀具有很好的抵抗作用；从美观度上来说，具有很好的装扮效果，施工工艺也较为简单，清洗维护也较容易；耐磨性较优且防水，还有灰尘量也较少在规格使用上，也是统一规范，燃烧性能也是难燃烧，保证其使用的安全。

防静电聚氯乙烯在选择使用范围上，主要是一些电子、微电子、机房、净化厂房等一些要求防静电的场所。例如一些厂房基地为水泥或者水磨石的丙类厂房洁净室的地面施工上。

2.3 对不发火水磨石地面的概念、性能以及使用范围的探讨

不发火防静电水磨石地面，顾名思义，在规定范围以内，永久不发火以及防静电，受重力强，洁净度高，并且包含耐磨、耐老化、耐腐蚀、防火以及美观度等一系列的高标准；在具备这些特点中，与其本身的建筑特征和防静电特性的天作之合；对于在市面上的使用，因为其优异的性价比，代替了PVC类的防静电地面以作为主地面材料。

其在性能上的优势以及特点也是非常突出的；首先符合国家在建筑行业的规范要求；秉承地面材料的优秀传统，无裂口，受重力强，不收缩，不变形，最大特点就是不发火，还有耐腐蚀，耐污损，耐老化等，最重要的一点，不会给环境造成破坏；在施工工艺上，类似于传统的现制水磨石施工工艺，因此，在土建项目中，可以直接使用；燃烧等级是不燃烧，从根本上保证了其使用的安全性。

不发火水磨石地面在实用范围上，主要以新建厂房、机房和一些需要大面积改造的环境和清洁度要求高的环境上，还有防静电要求为主体，在使用之前的条件之一是在土建完工后的地面上至少流出3cm的厚度，做到对其的规范使用。

3、环保材料的施工要求与应用

依据其在有关方面的规定，其内部需要在平整度光滑度上做到高标准无裂缝，无颗粒脱落，在此基础上，还需满足对清洗度以及耐消毒上的要求；在本半导体车间的顶棚和隔板上要求采用非燃烧体，且不能使用有害物质的邮寄符合材料：顶棚的耐火是有极限的，不低于0.4h，隔板也是有耐火限度的，不低于0.5h，对于疏散的顶棚和隔板的耐火度控制在不低于1.0h：在材料商的规范要求，现主要采用的是彩钢夹心板，其主要是作为一种新型的建筑板材，特点是保温、隔热、隔音、轻便、防水、抗震等；主要构造是由山下两层彩色涂层钢板作为面层，辅助材料是纸蜂窝，铝蜂窝，石膏岩棉等，在通过自动的符合成型机，在钢板上涂上胶水，钢板两侧加入薄壁的槽钢，再经过施工工艺上的加工而成；其用处也是颇为广泛。

3.1 纸蜂窝彩钢夹芯板的应用分析

纸蜂窝彩钢夹芯板的组成成分主要是由阻燃纸蜂窝芯板材而合成，辅助材料是由高强度的胶水和彩钢板复合组成，在经过一系列的施工方法，加温加压，最后固化而成；其优势在于，质量轻便，形态好，外观精致，防火性能较好，易于操作等。因为其特别的六边形结构，益处就在于其在抗压强度上的表现很好，且属于绿色环保型材料。

在性能上的突出特点就是其材料的轻便性，抗压性搞，张力好且很难燃烧，密度高，因为其属于绿色环保型材料因此，在电磁屏蔽实验室sheldingroom装饰装修中采用的主要材料。也满足洁净度高的环境。

3.2 石骨防火彩钢复合板的应用分析石膏防火彩钢复合板的主要构成是由彩钢板经过第一次的成型之后与石膏板再经过高强度粘合剂，对其加压固化复合而成的；在操作过程中可依据隔墙的厚度选用不同型号的材料，在根据火候等级的要求中间还可添加辅料，以确保及满足耐火限度的要求。

其在使用性能特点上要是保温效果和隔音效果的保证以及操作安装将流程简便，防火性能高，其为不燃烧，也是保证了使用的高度安全性。在声学隔音吸音实验室高度洁净的区域里，是我们最佳的选择。

3.3 岩棉彩钢夹芯板的应用分析

岩棉彩钢夹芯板的构成成分主有彩钢板和无机不燃板以及岩棉和型材共同组成的；它的优势在于表面的平整度优越，抗压性强以及耐火等特点在性能特点上的表现主要为导热性低，最高使用温度为500度，且不燃烧，确保其使用的安全性。在电力电子实验室采用了岩棉彩钢夹芯板符合了安全标准。

3.4 铝蜂窝彩钢夹芯板的应用分析

本工程装饰装修中采用的铝蜂窝彩钢夹芯板主要使用的是铝蜂窝芯板材为主原料，辅料主要是用强度较高的胶水与彩钢板复合再由施工加工而成，经过加温，加压，固化等步骤来完成；因为其特殊的六边形的结构，其优势的显现在于其抗压强度高，张力好，质量轻便，属于绿色环保型建材。

在性能上的特点，主要表现为外观精美，节点的处理具有科学化，安装方便，且难燃烧.保证使用的安全性。

3.5 对玻镁彩钢复合板的应用分析

玻镁彩钢复合板的组成元素众多主要是由氯化镁氧化镁和水为主原料，其制作成性能稳定的无机镁质凝胶板材，主要优点就是具有优良的物理性能和化学性能；玻镁板具有多种优良性能，不断裂，柔韧性较好，不离层，强度较高，隔音和隔热效果强以及不变形等优势；对于洁净房装修材料的选择上，其具有其所需的轻便环保、防腐隔热和隔音等性能优势在防火等级上，符合其相关规定可作为新时代的理想型建筑材料。

在其性能特点上的表现主要为不燃烧，因此其熔点较高以及高热阻的特点，其在吸湿状态中的强度要求更高一些，但不会出地板变形的状况，在燃烧性能上位不燃烧，保证其在使用中的高度安全性。

在高度洁净试验区城，是我们最为理想型的建材。

4、洁净区域施工的主要要素

4.1 装饰的主要应用

装饰作为一种较为简单的施丁工艺在半导体车间的装饰中主要采用轻钢龙骨防水石膏板和铝扣板的吊顶和轻钢龙骨石板隔墙为主原料来完成，主要的施工重点在于施工后期的刮腻子和抗菌漆的粉刷上，因为其顺序和施工中的步骤性可决定最后的工程质量。

4.2 洁净区对于门的施工

对于洁净区城的门的施工上，主要是因为静压差而存在的，目的是在于在门开或合的过程中以避免室外的空气透过缝隙而进入洁净室，因此，采取了有效的措施，就是在开门时，设置气流向外流动，把进出人员带进的污染空气程度降低到最大限度:在施工过程中需要注意门的接口上的平整度需要定期检查，以确保密封的效果。

4.3 对车间净化系统的安装

净化系统是由多种部分组成的其包含通风、冷冻水、静压箱以及过滤器等方面；而净化系统对于半导体车间的洁净作用可以说是最有效的，因此，在净化系统的安装上，需要经过详细研究，以专业且丰富经验的前提下进行施工操作。

5、结语

对于半导体车间洁净区的施工装修，大前提就是以洁净为主要目的，需要提前做好施工准备明确施工方向对施工容以及各项安做到井井有条，过程中严格控制其环节的把握；在此项目亚德诺半导体洁净室的装修施工中，合理运用施工材料是重点，选用环保型且适用施丁工艺特点的材料，符合规定的材料，都是作为装修的要点之一，不管是哪方面的材料选择，都是需要通过衡量与比较之后，不可滥用，对洁净区域更是要慎重选择，做好保温或者降温措施，在本项目中对于温度较高的季节有明确规定的施工措施，体现其项目特点的同时也是展现其在施工上的细致之处，可供同行业学习。