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微电子洁净厂房净化车间工程施工技术实例分享 2025-08-25 15:25:41

本工程净化车间位于 6 号通用生产车间的地上 2层,净化车间总建筑面积 2 067 ㎡,包含调阻、镀膜、光刻等各类功能房间。其中,万级净化车间面积为1 911 ㎡,千级净化车间面积为 156 ㎡。洁净厂房装修施工全过程应对施工环境、施工人员、材料和机械设备进行清洁管制,建立相关的管理制度,并安排专人进行监督管理。本研究从深化设计、结构施工、装修施工方面阐述了洁净厂房施工建造的技术要点。

1.深化设计

1.1.深化设计的主要任务

通常洁净厂房图纸的设计深度不足以直接指导施工,需要承包单位进行深化设计。根据原设计图纸和选用的材料,结合施工工艺,绘制出各种详图。洁净厂房的深化设计工作主要包含以下 3 个任务:

(1)对墙面、地面、吊顶和门窗等装修工程进行详图设计;

(2)对洁净厂房内的各类机电管线和设备进行综合排布;

(3)对装修和机电专业的深化设计图进行整合、优化。

1.2深化设计注意事项

深化设计首先应该严格遵循原设计图纸和相关设计规范的要求,在不改变原设计意图的基础上对图纸进行深化。大多数时候,深化设计是原设计图纸的补充和延伸,提高图纸的设计深度,完善相应的设计细节,使得能够指导现场施工。

其次,开展深化设计工作期间,应对原设计图纸进行查漏补缺和勘误。对于一些设计不明确、不完善的问题,需要逐一解决,给出更加明确和完善的表达。

此外,由于市场上的装修材料种类繁多,不同材料的安装方法也不尽相同。比如常用的洁净板有机制板和手工板之分,二者不仅造价存在明显差别,安装工艺也有所不同。因此在满足设计指标的前提下会出现多种材料可供选择的现象。此时,则需要综合考虑使用何种材料,并经过各相关单位共同研究确定。

最后也是最需要注意的问题,就是对装修和机电安装进行综合深化。专业间的协调配合在深化设计阶段尤为重要,将“碰撞冲突”在图纸阶段就予以解决,无疑会大幅降低后期施工的难度,避免无意义的返工返修。

例如:各类管道的标高和路径,应该与隔墙主龙骨、吊顶、吊杆等主要受力部件的位置互相避让;吊顶内的管线应统筹排布,相似相近管线使用综合支吊架可以节约成本、避免浪费;机电管线设备综合排布不仅可以减少空间占用,还可以与吊顶、墙板实现科学合理的排版,提高安装质量和美观程度。

2.施工准备和总体施工流程

洁净厂房施工前,首先要实现外围护封闭,即外墙、外门窗应施工完毕。另外,考虑到外围护封闭后无法使用施工升降机进行垂直运输,因此建筑内的正式电梯应提前进行安装调试,取得相关准许使用文件后方可投入使用。

本工程主体结构为钢结构,钢柱、钢梁及楼板均喷涂了防火涂料。为了避免后期产尘,需要提前进行处理。另外,室内房间的隔墙、内窗应先施工完毕,达到可以安装洁净板、洁净窗的条件。相关的隐蔽工程验收应完成,并形成资料。施工水电气、机械机具等资源应准备妥当,正式施工前对室内环境进行全面清理,将灰尘、垃圾、废料等清理干净,保持室内环境干净整洁。洁净厂房内部装修工程总体施工流程如图1 所示。

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3.结构阶段施工技术要点

3.1主体结构表面处理方法

主体结构表面处理的主要方法是在其钢结构防火涂料表面再喷涂一层聚氨酯面漆,使其表面光洁,不易产尘和积尘。

针对外露于吊顶技术夹层内的钢柱采用相同作法进行处理。值得注意的是,钢柱采用了非膨胀型防火涂料,由于其表面较为粗糙、颗粒较大,需要打磨平整后再喷涂聚氨酯面漆。而对于洁净室内的钢柱,使用金属壁板包覆即可,无须喷涂面漆。在喷涂面漆前,先使用气枪进行吹扫,然后喷涂两遍聚氨酯面漆,干膜厚度一般约为 100 μm。

注意所使用的聚氨酯面漆应与防火涂料应具有相容性,一般采用同一厂家的产品。

3.2楼地面施工技术优化方案

楼地面施工技术优化主要包含以下两项内容。

(1)40 mm 厚的地面找平层混凝土与楼板混凝土同步施工,使用 C30 混凝土一次浇筑成型。需要注意的是,混凝土的坍落度需要控制在 200±20 mm,骨料粒径为 10~15 mm,由此可以较好地保证混凝土的流动性,便于混凝土表面收光。相比较传统的二次施工工艺,该工艺具有以下优点。

1)取消了二次安装地泵浇筑找平层混凝土的步骤,工序上更为简单,同时还能节约施工成本和工期。

2)混凝土一次浇筑成型能够更好地保证地面的整体性和强度,不仅取消了混凝土界面剂,还避免了找平层容易发生空鼓、开裂、分层的质量通病。

3)不需要在室内二次浇筑混凝土,避免污染室内环境。

(2)洁净室施工前,先施工地面的环氧底漆。

通过环氧底漆对混凝土地面形成覆盖保护,在后续施工当中,可以减少灰尘的产生。在洁净室其他施工内容全部完毕后,地面施工前,对环氧底漆进行清理和修补,然后整体打磨除尘。最后进行导电层、中涂层和面漆施工。

4.装修阶段施工技术要点

4.1 洁净壁板施工方法

洁净壁板的规格需要按照房间尺寸和净空高度选择,一般常用的洁净壁板尺寸为 2 400 mm×1 200 mm、2 400 mm×900 mm 等, 厚 度 为 50 mm、100 mm 等。洁净壁板也可以根据实际需要进行定制加工,常用的宽度为 1 200 mm 和 900 mm,高度可以按需调整。墙面排版时,应注意遵循以下原则。

(1)排版时应尽可能保证整板。非整板可以放置在两边或中央。非整板的宽度不应小于整板宽度的1/3,当非整板的宽度不大于整板宽度的 1/3 时,需要进行平均。

(2)一般情况下,窗户的两边应与板缝重合。窗户宽度与壁板模数不匹配时,非整板应放置在窗户中线位置。

(3)一般情况下,单扇门贴板的一边布置,双扇门的排版方法与窗户类似。

常用的洁净壁板材质有金属岩棉夹芯板、金属玻镁板、金属铝蜂窝板等,本项目使用 50 mm 厚金属铝蜂窝板。金属壁板底部通过槽形铝合金件与地面固定,板与板之间使用中字铝合金件连接,顶部使用角铝与隔墙连接固定。金属壁板的阴阳角使用成品铝料进行固定,并安装专用的弧形条。金属壁板之间的拼缝全部使用中性密封胶填实。金属壁板主要安装节点大样图如图 2~ 图 7 所示。

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4.2 风机过滤机组吊顶的施工方法

风机过滤机组(Fan Filter Unit,FFU)也称高效过滤器,是电子洁净厂房常用的空气处理设备。FFU吊顶常指综合性的吊顶,除了安装有大量FFU设备以外,还有风口、灯具、消防广播、喷淋头等常见末端设备。由于整个吊顶的龙骨使用了FFU设备的专用龙骨,因此通常称之为FFU吊顶。

本项目 FFU 吊顶的规格尺寸为 1 200 mm×1 200 mm,吊顶板为 50 mm 厚单层玻镁金属岩棉夹芯板,表面为防静电涂层,为可上人行走板。吊顶龙骨使用 50 mm 宽明架挤压成型 T 形铝合金龙骨,表面做阳极处理。吊杆使用 10 热镀锌丝杆,通过螺栓与龙骨连接。龙骨与高效过滤器之间通过连续的密封条连接。整个吊顶系统为可上人吊顶,承载能力为150 kg/㎡。

T 形龙骨之间通过专用铝合金接头连接,常用接头有丁字形、十字形和直角形,接头与 T 形龙骨之间通过内六角螺栓紧固。龙骨安装完成后,即可安装FFU设备及吊顶板等。FFU吊顶龙骨平面、剖面如图8、图 9 所示。

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4.3 洁净室门施工方法

洁净室的门窗要求具备良好的气密性,所使用的材料应具有耐腐蚀、不产尘、不积尘、防静电等特性。洁净室门窗的施工技术重点在于控制各种施工缝隙和构造缝隙,采取相应的技术措施进行处理,从而达到气密性要求。门窗的缝隙一般使用柔性材料嵌填或使用密封胶密封。安装完成的门窗应启闭灵活,关闭严密,所使用的五金件应色泽光洁,无锈蚀、污染和擦伤等不良现象。洁净室与回风夹道之间的洁净壁板上安装单层气密窗,也称观察窗,为不可开启的固定玻璃窗。门窗玻璃一般为4~6 mm的钢化玻璃。窗框与洁净壁板端面使用不锈钢自攻钉连接牢固,然后安装不锈钢侧边框,窗框与玻璃之间使用中性硅酮密封胶填实。洁净室气密门有单扇门、双扇门,其安装方式相似,本项目的气密门均安装在轻钢龙骨隔墙上,隔墙施工期间需要预留型钢门框,方便后期安装施工。

气密门的门扇与门框之间以及双开门的两个门扇之间,均设置有橡胶密封条,用来保证气密性。另外,门框与隔墙之间的安装缝隙均需要使用中性硅酮密封胶实。单层气密窗剖面如图 10 所示,双扇气密门剖面如图 11 所示。

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5.结束语

洁净厂房装修工程相较于其他类型的建筑装修来说,其具有以下特点。

(1)对深化设计图纸的标准要求高。洁净厂房装修工程深化设计时,需要根据项目的具体情况绘制大量的节点图体现具体的工艺作法,同时要对各种构造缝隙和施工缝隙给出针对性的处理措施。同时在材料选择方面不仅要遵循原设计图纸的基本要求,还要结合当前市场情况,选择合适的材料。

(2)对施工人员的专业素质要求高。洁净厂房施工通常由专业厂家负责技术指导或直接施工,一般的施工人员很难在短时间内具备相应的施工能力。在施工进度、材料损耗方面,专业的施工人员更具优势。

(3)对施工环境的清洁度要求高。一般建筑装修项目对施工环境的清洁度要求不高,做好的文明施工即可。但是洁净厂房对空气灰尘十分敏感,需要建立特定的清洁管制措施,人员着装、材料加工、材料设备的清洁、施工环境的清理等方面都要做到较高的洁净标准。否则会对室内环境的洁净度造成污染,导致洁净度不达标。

综上所述,洁净厂房装修工程施工在技术、生产、管理等方面均具有一定的特殊性,需要施工单位格外注意,方可交付质量合格甚至优良的工程。