1 概况

深圳某电子厂是IBM在全球最大的磁阻磁头（HGA）生产工厂，是世界一流的HGA制造商。该厂的净化间处于厂房核心部位，内层房间为净化间，外层房间为空调机房。净化间分为100级和10000级两种级别，其中100级净化间总面积478.8㎡，10000级净化间总面积6200㎡，本工程共分两期，一期工程中100级和10000级净化间面积各站总面积的33.3平方米和3105.4㎡。100级净化间用来作为净化服的烘干室。10000级净化间主要作为台式电脑和笔记本电脑用HAG的生产车间。

2 系统设计

（1）室内各功能区域的分布及设计参数

功能区域分布如图1所示，室内主要设计参数见表1。

各功能区的正压分布：HGA生产区＞更衣室＞换鞋室，HGA生产区＞成品存放室＞缓冲室，HGA生产区＞激光室。

（2）空调系统

A. 空调机房

外层4.2米高区域作为净化间的空调机房，空调机组均吊装于该区域。空调机组送加风管道均安装有消声装置，保证净化间的噪声符合标准，机房区设有上人通道，方便机组检修。

B. 空调形式

100级净化间采用FFU送风单元送风垂直层流，穿孔高架地板回风。FFU送风单元额定风量为848.5m³/h，超高效过滤器效率为99.999%（≥0.1μm），满布率为90%，净化间的总送风量为37200m³/h，折合换气次数为370次/小时，房间断面风速为0.3m/s，共设空调机组3台，高架地板下装有旋转多叶风阀，通过调整风阀的开启度，可对房间的断面风速及正压值进行调节。

10000级净化间采用乱流，气流组织形式为上送下回，净化大厅顶棚均布置高效送风口161个，每只风口额定风量为14000m³/h，净化间换气次数为30次/小时，总送风量为225400m³/h，回风口40个，共设空调机组15台。

C. 空气处理过程

新风的处理

净化间新风由净化新风机组集中处理，夏季首先室外新风通过新风入口处的无纺布初效过滤器滤除大颗粒尘粒，经纯净水喷淋室除尘，由离心式通风机送至表冷器进行冷却除湿并通过再热盘管再热，最后经化学过滤器、去盐过滤器、高效过滤器进入总新风管。经新风机组处理后的新风分供各空调处理机送入净化间，以供应人员新风量、补充净化间内的排风以及调节净化间内的相对湿度和维持净化间内所需的正压。

循环风处理

净化间内人员的操作是产尘的主要原因，除一部分尘粒由真空吸尘在工作部位下吸走外，还要依靠净化间各空气处理机组（AHU）对循环空调进行净化处理后达到洁净的要求。循环风进入表冷器冷却或加热处理后经风机段进入中效过滤器进行过滤，然后进入高效送风口，经高效过滤后送入净化间。

洁净度的监控

计算机更新速度快，需求量大，这就要求HGA的净化间长年24小时处于稳定的运行状态，净化间洁净度的保持是HGA品质的重要保证。从而要求对净化间洁净度进行必要的监控。在实际运行过程中，每星期两次采用粒子计算器对净化间随即选取的点进行洁净度检测，100级四个点，10000级五十个点，然后将所测粒子数与净化间标准值进行比较，以便及时了解净化间的运行状况。

机械通风

机械通风系统主要排除在HGA生产区、激光室等产生的微量废气包括丙酮、异丙醇曲通-100等，排风系统的排风口设在工作部位的排气点，根据IBM职业卫生健康的要求，各排气口的排风速度须≥0.4m/s，排风机旋转在16米高的楼顶，采取变频调控。

冷热源

净化空调系统的冷冻水由冷冻站提供，供水温度7℃，回水温度12℃，水压为0.4MPa，热水由自备的349KW的电热锅炉供给，供水温度60℃，回水温度50℃。总冷负荷980kw，总热负荷8kw。空调冷冻水系统为二管制异程系统，分支管路设置平衡阀，平衡各路压力，末端设备回水管上设置电动三通阀调节水量。

空调自控系统

自控系统由控制器、阀门推动器、温湿度传感器、压力传感器等组成。新风系统初效卷帘过滤器由压差传感器及传动电机控制，当风阻≥150pa时，自动更新。预热段、表冷段和再热段都分别设有温度传感器，根据深圳的气象条件，其相应的控制器的温度设定值为27.5℃、12.5℃和18℃，与实测瞬时温度比较后，由阀门推动器来控制水管阀门的开启程序，从而处理后的空气温度恒定在设定值。去盐过滤及高效过滤段装有压差显示表并由压差信号输出报警。

AHU的控制时根据净化间内温度传感器与相应各AHU控制器上的设定温度进行比较，来控制AHU冷冻水管比例调节器的开启度，达到恒温要求，湿度的调节主要是通过对新风系统预热和冷却温度的调节来实现。温湿度传感器信号与监控室的数字显示器及记录仪相连接，可随时观察及打印系统的温湿度。

AHU的风机与冷冻水管阀门推动器进行连锁，冷冻水阀门随风机的启闭而动作。排风系统与新风系统连锁，新风系统开启，则排风机随之启动，在冷冻水供回干管上设有设定压力为0.28MPa的自动压力旁通控制阀，保护管网。

3 系统的运行情况

新风系统的设计风量为45000m³/h，排风系统的设计风量为29500m³/h，新风机及排风机都设有变频调整装置，可根据不同时期的生产量进行调节，保证洁净室内的新风量和正压值。根据季节的变化，须对新风系统的设置进行合理的调节，新风温度过低，表冷器除湿量过大，不仅再热能耗大，而且还会导致新风过于干燥，新风温度过高，将无法被有效地祛湿。实践表明，新风系统应用周期性的维护，否则，新风系统的效率会显著的降低。